真空泵在使用過程中，真空設(shè)備供應(yīng)商往往要求真空泵使用者使用正規(guī)的真空泵泵油，并且要經(jīng)常換油，要求客戶每三個月更換一次真空泵油，如果抽有腐蝕性氣體或環(huán)境惡劣的更應(yīng)該勤換油，更換油應(yīng)注意把泵腔里的舊油放干凈再加上新的油。
旋片式真空泵泵溫太高，指低級排氣閥左近測得的油溫超越運用值。由于泵溫太高會使泵油粘度大下降，并使泵油的飽和蒸汽壓降低，使泵的極限壓力降低和抽氣效率下降；使橡膠件容易老化，熱收縮使運轉(zhuǎn)間隙減少，特別是某些非金屬旋片的厚度方向和銅套內(nèi)孔間隙，影響泵運轉(zhuǎn)的牢靠性。泵溫太高的緣由可以是泵環(huán)境溫度太高，進氣溫度太高，進氣冷卻安裝無效，泵臨時延續(xù)運轉(zhuǎn)入口壓力太高，水冷泵冷卻水量缺乏，循環(huán)水設(shè)計效果不佳，溫控水量調(diào)理閥生效等。
由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對稱陰極濺射離子泵）對泵有一定的抽速，兩者組合起來，便會使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)真空；有的真空泵出口壓強低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。
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