在旋片真空泵的構(gòu)造方面,為了能在停泵時(shí)避免返油,有的設(shè)有能自動(dòng)切斷油路的止回閥,有的設(shè)有進(jìn)氣通道截止閥,有的為了能在泵開(kāi)氣鎮(zhèn)運(yùn)轉(zhuǎn)忽然停電時(shí)自動(dòng)切斷氣路來(lái)堅(jiān)持泵口處于真空形態(tài)而設(shè)有油泵和控制構(gòu)造。在附件方面,有消霧器,氣息過(guò)濾器,阻撓碎玻璃等雜物用的人口過(guò)濾器,灰塵過(guò)濾器,氣水分離器,有控制泵溫以進(jìn)步水蒸氣抽除率和維護(hù)泵的溫控水量調(diào)理閥。
旋片式真空泵,它有公平地裝在定子腔內(nèi)的轉(zhuǎn)子及轉(zhuǎn)子槽內(nèi)的兩個(gè)或數(shù)個(gè)旋片,轉(zhuǎn)子與泵殼內(nèi)外表或相切或相交,轉(zhuǎn)子帶動(dòng)旋片旋轉(zhuǎn)時(shí),旋片借向心力(有的還有彈簧力)緊貼缸壁,把進(jìn)排氣口聯(lián)系開(kāi)來(lái),并使進(jìn)氣腔容器周期性擴(kuò)展而吸氣,排氣腔容積則周期性地減少而緊縮氣體,借氣體和油的壓力推開(kāi)排氣閥排氣,從而取得真空。雙級(jí)泵由二個(gè)單級(jí)串聯(lián)而成,進(jìn)氣壓力高時(shí),普通大中型泵,二級(jí)可同時(shí)排氣,進(jìn)氣壓力低時(shí),氣體由初級(jí)排入低級(jí),然后再排出泵外。
由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時(shí)選用一種泵不能滿(mǎn)足抽氣要求,需要幾種泵組合起來(lái),互相補(bǔ)充才能滿(mǎn)足抽氣要求。如鈦升華泵對(duì)氫有很高的抽速,但不能抽氦,而三極型濺射離子泵,(或二極型非對(duì)稱(chēng)陰極濺射離子泵)對(duì)泵有一定的抽速,兩者組合起來(lái),便會(huì)使真空裝置得到較好的真空度。另外,有的真空泵不能在大氣壓下工作,需要預(yù)真空;有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓,需要前級(jí)泵,故都需要把泵組合起來(lái)使用。